目前，由沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司(簡(jiǎn)稱沈陽(yáng)芯源)承擔(dān)的2012年度國(guó)家02科技重大專項(xiàng)“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”項(xiàng)目順利通過(guò)驗(yàn)收，標(biāo)志著我國(guó)前道芯片制程領(lǐng)域用勻膠顯影設(shè)備在國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中又邁出了重要的一步，不僅打破了該類設(shè)備一直由國(guó)外生產(chǎn)廠商長(zhǎng)期壟斷的局面，也填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)該項(xiàng)技術(shù)空白，為我國(guó)前道芯片制程勻膠顯影設(shè)備進(jìn)入前段市場(chǎng)打開(kāi)了突破口。
　　該項(xiàng)目的市場(chǎng)化、產(chǎn)業(yè)化，將為沈陽(yáng)芯源帶來(lái)新的增長(zhǎng)突破點(diǎn)，同時(shí)引領(lǐng)遼沈地區(qū)由傳統(tǒng)加工業(yè)進(jìn)入精密加工行業(yè)，帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)優(yōu)化升級(jí)，推動(dòng)遼沈地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模化、集聚化發(fā)展。
　　沈陽(yáng)芯源成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)辦的國(guó)家重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)，主要從事集成電路高端裝備的研發(fā)、制造、銷售與技術(shù)服務(wù)。集成電路高端裝備號(hào)稱行業(yè)的“印鈔機(jī)”，長(zhǎng)期以來(lái)一直由國(guó)外企業(yè)一統(tǒng)天下。由于國(guó)外設(shè)備造價(jià)高、服務(wù)費(fèi)用高，使國(guó)內(nèi)客戶不堪重負(fù)。沈陽(yáng)芯源的技術(shù)攻關(guān)也就是在這樣的大背景下展開(kāi)的。
　　沈陽(yáng)芯源，這個(gè)僅有200名員工的企業(yè)成功打破了國(guó)外產(chǎn)品在中國(guó)市場(chǎng)的壟斷。他們依靠與市場(chǎng)互動(dòng)的科技研發(fā)機(jī)制，在消化吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上，先后取得276項(xiàng)技術(shù)專利，自主研制的主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備廣泛應(yīng)用于LED、高端封裝等領(lǐng)域，勻膠顯影技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，成功替代了進(jìn)口產(chǎn)品。
　　從做LED領(lǐng)域的半導(dǎo)體制造設(shè)備起步，僅用10多年的時(shí)間，沈陽(yáng)芯源一步步突破IC裝備制造業(yè)細(xì)分領(lǐng)域國(guó)外壟斷：從第一個(gè)將國(guó)產(chǎn)設(shè)備推廣應(yīng)用于集成電路8英寸生產(chǎn)線，到研制出國(guó)產(chǎn)首臺(tái)12英寸凸點(diǎn)工藝勻膠產(chǎn)品，
　　再到打入臺(tái)灣地區(qū)市場(chǎng)的噴膠機(jī)、勻膠顯影設(shè)備。沈陽(yáng)芯源實(shí)現(xiàn)集成電路設(shè)備核心部件國(guó)產(chǎn)化，也搶占了我國(guó)集成電路高端裝備研發(fā)制造的制高點(diǎn)。迄今為止，沈陽(yáng)芯源承擔(dān)并完成了2項(xiàng)國(guó)家科技重大專項(xiàng)，獲得國(guó)家經(jīng)費(fèi)1.25億元，成果產(chǎn)業(yè)化勢(shì)頭良好。
　　沈陽(yáng)芯源憑借著“技術(shù)創(chuàng)新緊貼市場(chǎng)”的理念，打造了集成創(chuàng)新模式，主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備在本技術(shù)領(lǐng)域居國(guó)內(nèi)第一，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。在LED勻膠顯影設(shè)備領(lǐng)域占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額超過(guò)50%，而且憑借低成本、高性能的優(yōu)勢(shì)銷往海外市場(chǎng)，穩(wěn)步成長(zhǎng)為一家具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體高端裝備及工藝解決方案提供商。
　?。ㄔd于《沈陽(yáng)日?qǐng)?bào)》 2016-04-22 A2版）