6月14日，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所與日本愛發(fā)科集團(tuán)（ULVAC）聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室簽字儀式在中科院微電子所舉行。中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春與愛發(fā)科集團(tuán)代表取締役執(zhí)行役員社長(zhǎng)小日向久治簽署協(xié)議。
　　株式會(huì)社ULVAC是以在各領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用的真空技術(shù)為基礎(chǔ)，以開創(chuàng)精細(xì)加工工藝為追求目標(biāo)的研究開發(fā)綜合企業(yè)。其產(chǎn)品從平板顯示、電子半導(dǎo)體、太陽電池作用的真空設(shè)備到標(biāo)準(zhǔn)零部件、材料及真空鍍膜等業(yè)務(wù)。目前在中國(guó)已經(jīng)設(shè)立了15家公司，未來在中國(guó)的投資還會(huì)不斷擴(kuò)大，在以電子技術(shù)和通訊技術(shù)為首的包括能源、環(huán)保、運(yùn)輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域中，株式會(huì)社ULVAC以設(shè)備生產(chǎn)為中心，提供先進(jìn)的真空技術(shù)產(chǎn)品。
　　這次成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，雙方運(yùn)用中科院微電子所擁有的微電子器件有關(guān)的技術(shù)和愛發(fā)科集團(tuán)擁有的與真空鍍膜設(shè)備及工藝技術(shù)有關(guān)的技術(shù)，在MEMS、存儲(chǔ)器、功率器件及傳感器領(lǐng)域，針對(duì)開發(fā)主題共同實(shí)施開發(fā)，互相協(xié)助力求其實(shí)用化。雙方一致認(rèn)為，彼此具有非常強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)關(guān)系，是充分發(fā)揮雙方各自特長(zhǎng)、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)學(xué)研無縫對(duì)接、可同時(shí)滿足核心技術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)化需要的最佳途徑。雙方將成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，在資源共享、技術(shù)開發(fā)、人才交流與培訓(xùn)等方面進(jìn)行深入合作，以支持和推動(dòng)在相關(guān)核心技術(shù)方面的研究和積累。聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室將成為雙方合作的窗口和新技術(shù)科研成果的實(shí)驗(yàn)基地。
　　聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室將利用ULVAC制造SME-200型濺射設(shè)備開展微電子工藝開發(fā)，ULVAC SME-200設(shè)備是一款多功能濺射設(shè)備，最多可搭載八個(gè)腔室，可針對(duì)研究開發(fā)和少量生產(chǎn)用途，在8英寸硅基板上進(jìn)行沉積金屬、氧化物、氮化物薄膜等先進(jìn)材料，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)搬送、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)、保證工藝結(jié)果穩(wěn)定性等功能。通過利用該設(shè)備，雙方將在MEMS、存儲(chǔ)器、功率器件及傳感器等領(lǐng)域展開工藝研發(fā)合作。
　　聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的成立，體現(xiàn)了愛發(fā)科集團(tuán)大力推進(jìn)本土化產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略方針。與中科院微電子所共同合作，聯(lián)合實(shí)驗(yàn)將針對(duì)中國(guó)正在大力發(fā)展的電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，提高研發(fā)實(shí)力，加快推進(jìn)前沿技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，以產(chǎn)學(xué)研結(jié)合的模式，實(shí)施人才與科技創(chuàng)新雙輪驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略，為國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體企業(yè)提供技術(shù)支持、工藝驗(yàn)證的平臺(tái)。
　?。ㄔd于《中國(guó)科學(xué)報(bào)》 2017-06-19 第5版 創(chuàng)新周刊)