9月10日，國(guó)內(nèi)首條全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式運(yùn)營(yíng)。由上海微技術(shù)工業(yè)研究院構(gòu)建的這條中試線，旨在打通從研發(fā)到小批量生產(chǎn)的超越摩爾產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈布局，助攻創(chuàng)新研發(fā)。
　　據(jù)悉，第一個(gè)溫度傳感器產(chǎn)品將在這條中試線上流片，第一批產(chǎn)品預(yù)計(jì)10月下旬初步跑通。整條中試線按規(guī)劃未來(lái)產(chǎn)能可以達(dá)到每月3000片。
　　致力于“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化的上海微技術(shù)工業(yè)研究院是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所與上海市嘉定區(qū)人民政府共同發(fā)起成立的新型研發(fā)機(jī)構(gòu)。作為全球性的協(xié)同創(chuàng)新中心，上海微技術(shù)工研院集研發(fā)、工程、孵化于一體，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案。
　　根據(jù)摩爾定律，當(dāng)價(jià)格不變時(shí)，集成電路上可容納的元器件數(shù)目，約每隔18—24個(gè)月會(huì)增加一倍，性能也將提升一倍。
　　如今，以移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、人工智能等為代表的新一代信息技術(shù)正加速創(chuàng)新、融合和普及應(yīng)用，一個(gè)萬(wàn)物互聯(lián)的智能化時(shí)代正在到來(lái)。其中，“超越摩爾”技術(shù)以傳感器為核心，結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來(lái)實(shí)現(xiàn)萬(wàn)物互聯(lián)的核心技術(shù)之一。中科院院士、中科院上海微系統(tǒng)所所長(zhǎng)王曦解釋說(shuō)，所謂“超越摩爾”，是指非數(shù)字、多元化半導(dǎo)體技術(shù)與產(chǎn)品（如傳感器）可以在成熟的工藝生產(chǎn)線上研發(fā)，無(wú)需遵循摩爾定律，在工藝尺寸上越做越小。
　　我國(guó)“超越摩爾”領(lǐng)域現(xiàn)狀，雖經(jīng)歷多年理論研究與技術(shù)驗(yàn)證，但在產(chǎn)業(yè)化階段，往往存在實(shí)驗(yàn)室研發(fā)與生產(chǎn)平臺(tái)脫節(jié)的情況。究其原因，是MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術(shù)鏈條較長(zhǎng)，且其“非標(biāo)”特性使得它的研發(fā)、創(chuàng)新需要與產(chǎn)線有一段比較長(zhǎng)的磨合期，可以說(shuō)對(duì)產(chǎn)線“嚴(yán)重依賴”。因此，研發(fā)中試線就顯得至關(guān)重要。
　　為此，上海微技術(shù)工研院立足擁有國(guó)內(nèi)一流集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)的上海，志在實(shí)施“超越摩爾”計(jì)劃，爭(zhēng)取在這一領(lǐng)域與國(guó)際領(lǐng)先水平并行。
　　“這是我們的‘鎮(zhèn)宅之寶’。”上海微技術(shù)工研院總裁楊瀟說(shuō)，這條面向全國(guó)開(kāi)放的8英寸研發(fā)中試線將成為一個(gè)創(chuàng)新設(shè)計(jì)的源頭，不僅可以進(jìn)行工藝研發(fā)，還可以實(shí)現(xiàn)和小批量生產(chǎn)的無(wú)縫對(duì)接，從而打通創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈，使得國(guó)內(nèi)“超越摩爾”生態(tài)鏈得以完善。
　　王曦表示，這條8英寸研發(fā)中試線將貫通“超越摩爾”研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)，專注于傳感器等產(chǎn)品技術(shù)開(kāi)發(fā)，重點(diǎn)部署了微機(jī)電系統(tǒng)、硅光子、3D集成等相關(guān)工藝和測(cè)量設(shè)備。
　　中試線運(yùn)營(yíng)副總裁游家杰說(shuō)，國(guó)內(nèi)的高校、研究所和企業(yè)做了不少原創(chuàng)研發(fā)工作，但沒(méi)有條件做中試，也就不可能投入市場(chǎng)。8英寸中試線的建成，正是為了加快這些原創(chuàng)成果市場(chǎng)化的速度。目前已有10多家企業(yè)找上門來(lái)洽談了。
　　以8英寸線為支點(diǎn)，撬起一個(gè)功能型平臺(tái)的作用已初顯。到2020年，上海市將培育形成約30家研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺(tái)，與張江綜合性國(guó)家科學(xué)中心共同組成上海科創(chuàng)中心建設(shè)的“四梁八柱”。
　　楊瀟表示，上海微技術(shù)工業(yè)研究院緊抓“超越摩爾”微技術(shù)產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的歷史機(jī)遇，深化產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新，通過(guò)引入世界一流的研發(fā)設(shè)施和建立高效的運(yùn)行機(jī)制，占據(jù)本領(lǐng)域科技創(chuàng)新制高點(diǎn)，結(jié)合中國(guó)“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)發(fā)展的特點(diǎn)，建設(shè)世界級(jí)半導(dǎo)體創(chuàng)新中心，為上海建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心作出貢獻(xiàn)。
　?。ㄔd于《中國(guó)科學(xué)報(bào)》 2017-09-18 第6版 院所)