▲李志堅在實驗室

▲李志堅獲得陳嘉庚科技進步獎

　　▲2008年10月9日，李志堅到天津大學為老友葛守仁慶祝八十壽誕（前排左起：李志堅，葛夫人，葛守仁，后排為李志堅的博士研究生李鐵夫）。

　　李志堅六十年的學術(shù)生涯，是他從一個立志報國的青年成長為一名杰出的微電子學專家的歷程，是中國微電子事業(yè)從無到有艱難前行的展現(xiàn)。這期間有他個人在學術(shù)探索中的努力和奉獻，有他追求科學真理的信念和堅持，也有在那段特殊時代背景下，一代科學家面對政治經(jīng)濟環(huán)境所作出的抉擇和貢獻。

　　李志堅（1928~2011）微電子學專家，中國科學院院士。1928年5月1日出生于浙江寧波，1947年至1951年在浙江大學物理系學習，獲學士學位。1953年至1958年留學蘇聯(lián)列寧格勒大學物理系，獲副博士學位。1957年2月加入中國共產(chǎn)黨。1958年回國任教于清華大學，曾長期擔任清華大學微電子學研究所所長、信息學院學術(shù)委員會委員、中國半導體行業(yè)協(xié)會副主任委員等職。

　　他是我國硅基半導體科學研究的奠基人和開創(chuàng)者——早在上世紀50年代后期，他就提出了以硅技術(shù)為半導體專業(yè)的主要研究方向；70年代末，他又提出以CMOS集成微電子學為主要學術(shù)方向。這兩次學術(shù)方向的確立對我國的半導體事業(yè)和清華大學微電子學科的成功起步及持續(xù)發(fā)展有著極為重要的戰(zhàn)略意義。1991年當選中國科學院院士，是中國電子學會榮譽會員、國家科學技術(shù)名詞委員會委員、中國微納米技術(shù)學會名譽副理事長、《電子學報》《半導體學報》和《傳感技術(shù)學報》編委。

　　戰(zhàn)火中的少年

　　李志堅1928年出生于浙江省寧波市北侖區(qū)柴橋鎮(zhèn)，父親是獨立創(chuàng)業(yè)的普通商人，母親是一位傳統(tǒng)的家庭婦女。父母祖輩雖不是書香門第、權(quán)貴家族，卻在平凡中為兒女如何做人、如何建業(yè)樹立了最淳樸的理念。

　　李志堅1934年進入寧波鎮(zhèn)海柴橋小學，本應是無憂無慮的孩童時光卻因抗日戰(zhàn)爭的爆發(fā)被改寫。李志堅的家鄉(xiāng)遭遇日機轟炸，他當時就讀的小學也被炸毀。在戰(zhàn)火的威脅下，李志堅小小年紀就跟隨學校到鄉(xiāng)下避難。師生們總是要提心吊膽地提防著日軍的偷襲和轟炸，時常要進行逃生準備和演練。

　　在這樣緊張和恐慌的戰(zhàn)爭氛圍中，李志堅開啟了他的愛國啟蒙之路。當時，北方流亡的愛國知識分子以及許多原在上海、杭州等地工作、讀書的青年人，逃難來到柴橋等小鎮(zhèn)。他們帶來了愛國抗戰(zhàn)的進步思想，也帶來了年輕人的熱血抱負。在這些青年的影響啟發(fā)下，李志堅開始思考各種問題，對自然物理現(xiàn)象特別感興趣，甚至回到家里還繼續(xù)和弟弟們一起探索。

　　1940年，李志堅升入鎮(zhèn)海中學，此時的鎮(zhèn)海中學因抗日戰(zhàn)爭幾度在農(nóng)村和山區(qū)輾轉(zhuǎn)，他也隨學校轉(zhuǎn)移到了莊市湯家廟。這一時期的生活環(huán)境極為惡劣，師生睡地鋪、吃青菜淡飯、自己動手開辟活動場所；教學設施非常匱乏，課本不全，圖書儀器一無所有，但是大家卻不以為苦。這一時期，對戰(zhàn)爭的痛恨及愛國報國的熱情深深植入了這個飽受戰(zhàn)爭之苦的青年心里。他那時寫了一篇作文，用一片被狂風吹落的綠葉的孤獨及任人踐踏的慘狀與無助，比喻那些受日寇蹂躪的苦難同胞。后來，即便是如此艱難的求學，也因戰(zhàn)爭愈演愈烈而中斷。李志堅在母親的支持下自學一年，鎮(zhèn)?？h中復校后才得以回校。

　　戰(zhàn)亂讓李志堅從小樹立了愛國報國的理想，同樣，戰(zhàn)亂也磨煉了他百折不撓的意志。

　　結(jié)緣半導體

　　1947年，李志堅考取百年名校浙江大學，在物理系何增祿、束星北、盧鶴紱、王淦昌等當時中國物理學界最優(yōu)秀的教授的引領(lǐng)下，走進了物理學的殿堂，大學畢業(yè)后被分配到同濟大學物理系任助教。在院系調(diào)整時，他代替同事準備去東北農(nóng)學院任職，卻又接到學校通知，要他前去北京俄專學習一年后留學蘇聯(lián)。就這樣，李志堅在諸多波折中踏上了去蘇聯(lián)求學的旅程。

　　1953年9月，李志堅成為蘇聯(lián)列寧格勒大學物理系研究生。他原打算在金屬學方面深造，以便學成后服務于國家的鋼鐵工業(yè)。但由于列寧格勒大學物理系沒有金屬學專業(yè)，只好另作考慮。當時半導體研究在蘇聯(lián)剛剛起步，他的導師亞歷山大·阿列克謝耶夫·列別杰夫（1893.11.27~1969.03.15）是該領(lǐng)域的專家，1953年10月23日被蘇聯(lián)科學院大會選舉為蘇聯(lián)科學院院士。導師為他制定了讀書計劃，開列了書單，并要他補習固體物理、量子力學等四、五門基礎(chǔ)課程，要求他用兩年時間完成學習計劃并通過相關(guān)專業(yè)考試。之后，他僅用半年時間便克服了語言難關(guān)，完成了導師規(guī)定的學習任務，閱讀了書單所列的全部書目，并順利通過了相關(guān)科目的考試。

　　他的研究集中在改善紅外光電器件的性能，并在理論方面進行探索。由于當時實驗設備簡陋，他只能從獲得真空的玻璃裝置做起。得益于浙大物理系學習時練就的良好實驗技能，他很快自制出可避免X射線誘生離子流的電離真空計；為了測試原子層薄膜的電導，他還自制了電流靈敏度達到10~15A以上的電流計；為了觀測從很低能量到較高能量范圍內(nèi)的能譜，又能實現(xiàn)從晶粒表面激發(fā)電子，他設計制造了能量分散度只有100毫電子伏、從零到幾伏變化的低能電子束槍。他的這些工作受到了導師和周圍同事們很高的評價。

　　最終，李志堅根據(jù)大量試驗結(jié)果，開創(chuàng)性地成功提出薄膜光導體的晶粒電子勢壘理論，完成關(guān)于CdS、CdSe薄膜的電子激發(fā)電導的畢業(yè)論文，用明確的實驗結(jié)果證實了多晶膜的晶粒間電子勢壘對電導、光電導所起的決定性的作用，及這一勢壘與晶界狀態(tài)、晶粒大小等依賴性的有關(guān)規(guī)律，以優(yōu)異的成績獲得了蘇聯(lián)列寧格勒大學物理—數(shù)學科學副博士學位。

　　得知學習半導體專業(yè)的李志堅即將回國，正在創(chuàng)建中的清華大學無線電系負責人李傳信親自開車去火車站將他“劫”到了清華。如此盛情下，李志堅沒有按當時的傳統(tǒng)回到留學前的派出單位，而是留在清華大學剛剛組建成的半導體教研組，不久便被委以教研組負責人的重任，并開始主持半導體研究。在之后的工作中，李志堅和他的同事們攻克了純度高達“九個九”的多晶硅的制作，緊接著又在研制“平面型高反向擊穿電壓硅晶體三極管”中取得成功，并早在1963年就開始醞釀集成電路的研究。

　　高瞻致遠

　　李志堅對科研方向的準確把握，受到他的領(lǐng)導和同事的廣泛稱贊。以他為首的上世紀60年代半導體教研組在鍺材料大熱的背景下，獨辟蹊徑選擇專攻半導體材料硅，直接把握到集成電路研究的關(guān)鍵領(lǐng)域。當說起李志堅是否在蘇聯(lián)時就已經(jīng)有做硅材料的想法，同在蘇聯(lián)留學的同學張禮介紹說：“那個時候年輕，而且都得聽組織安排，但我可以判斷他是有遠見的，回國后他提出要做硅，這就反映了他的理解和水平。”李志堅1957年加入中國共產(chǎn)黨時，張禮為他的入黨介紹人。

　　作為微電子所的一代領(lǐng)導人，李志堅所做的決定一部分是靠著自己的研究經(jīng)驗，形成了對世界電子科技的敏銳觀察，也形成了自己對研究前景的理解和預測。在李志堅事業(yè)的發(fā)展期，不論是清華半導體教研組初建時，在一窮二白、白手起家建立起的實驗室里進行硅材料研究，還是之后的集成電路、微納電子技術(shù)，這些道路的選擇可以說是時代發(fā)展的必然，但也正是因為這些選擇順應了時代潮流，走在了半導體發(fā)展趨勢顯露之前，才使清華大學微電子所從事的一些研究走在全國前列。

　　清華微電子所在李志堅任科研所長時從事的幾項重大科研項目，如1~1.5微米成套工藝開發(fā)和1兆位漢字只讀存儲器的研制，覆蓋了工藝線、設計組、器件物理組等幾乎全所的科研力量，從當時國內(nèi)第一個可滿足集成電路生產(chǎn)要求的超凈車間的建立，到電路設計、工藝流水試制、測試分析，經(jīng)歷上百個環(huán)節(jié)，80年代初的微電子所大部分老師將自己的近20年科研精力奉獻給了這條生產(chǎn)線。而這一科研項目正是為了突破國外對先進科技的禁運和控制，滿足國家的戰(zhàn)略需求，最終研制成功具有我國獨立自主版權(quán)，在性能指標上達到世界先進水平的漢字只讀存儲器芯片，這在中國集成電路技術(shù)的自主發(fā)展方面具有重大的戰(zhàn)略意義。

　　正是由于李志堅堅持帶領(lǐng)團隊追趕世界科技前沿，使當時的中國半導體技術(shù)在基礎(chǔ)差、資金短缺的情況下，可以集中有限的資源突破國外的技術(shù)封鎖，以高屋建瓴之勢占領(lǐng)學術(shù)前沿。

　　與清華大學微電子所并肩前行的北京大學微納電子研究院和中科院微電子所共同制定統(tǒng)一的科學研究規(guī)劃，分別承擔科研任務。王陽元院士說：“我們?nèi)齻€單位是兄弟，各有特色、互為補充，清華大學微電子所的發(fā)展特點是面向國家戰(zhàn)略需求、面向科學前沿、面向工業(yè)產(chǎn)業(yè)需求，而這正是當前國家科學研究工作所最缺乏的。李先生畢其一生對中國微電子事業(yè)的貢獻和清華微電子學科的發(fā)展是功不可沒的?！币舱怯捎诶钪緢栽谖㈦娮铀跗诰徒⑵鸬难芯坷砟詈蛨F隊精神為清華微電子所的發(fā)展謀劃出宏偉前景。

　　科學求真

　　對真、善、美的追求不僅是普羅大眾的美好愿望，更是科學家畢其一生的信仰。在這個信仰的指導下，一個人的靈魂可以被提煉被凝萃，形成至真至純的人格修養(yǎng)。

　　李志堅求善，他時時捐新衣新物，自己卻二十幾年如一日地穿著舊夾克衫、開會必備的藍西服，吃著家常素食；李志堅不愛美嗎？他卻是音樂會的忠實聽眾，金庸小說的癡迷讀者。在李志堅的字典里，美的意義已遠遠超出錦衣美食，而是世界上一切美的事物所帶來的精神上的安寧和愉悅。

　　如果說善和美是個人的價值判斷，那么真則是宇宙間永恒不變的真理。在某種程度上人類無法認識終極真理，只能不斷探索尋覓。在大躍進時期，在“全民搞科學”的極端科學主義中，對科學的狂熱制造了無數(shù)“偽科學”，正是由于對科學真理的探索，李志堅在政治洪流中保持理性頭腦，堅持理性科學觀，和半導體教研組同仁一道致力于半導體材料去偽存真的研究；在文革時期，在黑白顛倒的人格踐踏中，李志堅力挺同事，為他伸冤叫屈，力保其免受迫害。

　　我們無法阻擋歷史的發(fā)展，甚至不得不被卷入短暫的逆流中，有些人選擇隨波逐流、明哲保身，有些人卻堅持逆流而上，如此情懷并不是簡單一個是非判斷的問題，或許更多的是憑借著長期以來的信念和追求。

　　時代之子

　　歷史的發(fā)展充滿偶然性，而這些偶然中又包含著必然。李志堅偶然地考入了浙大物理系，偶然地被派往列寧格勒大學學習半導體。在當時的社會背景下，專業(yè)和就業(yè)方向的選擇是個人無法控制的，遑論安排自己的未來和命運。然而使其成為必然事件的是李志堅自小在戰(zhàn)爭環(huán)境中培養(yǎng)出的愛國主義精神、刻苦好學的求學意志。時代賦予了李志堅一代的科學家肩負的歷史重任，也讓他們見證了中國科學技術(shù)和學科建設的歷史進程。

　　伴隨著李志堅學術(shù)成長的，是新中國對半導體科技的迫切需求，是科學發(fā)展歷程中的曲折，是新世紀微電子科技的迅猛發(fā)展，這些給李志堅帶來了機遇和希望，也帶來了辛勞。

　　在李志堅留蘇時期，半導體專業(yè)在蘇聯(lián)才剛剛興起，甚至原有的儀器設備都不能滿足他的實驗需求，只能憑借在浙大時學習的一點實驗本領(lǐng)自己制作部分實驗工具，也正因為在蘇聯(lián)的三年求學大大提高了他的動手能力，才使得他在半導體教研組初建時期帶領(lǐng)全組成員發(fā)揮大家的創(chuàng)造性和動手能力，在清華大學新學科創(chuàng)建中，白手起家從無到有地建成了半導體實驗室，并開創(chuàng)材料硅的研究。

　　不管是早在1959年趁著科學大躍進研制出的“為祖國獻禮”的超純半導體多晶硅，還是90年代超大規(guī)模集成電路和1兆位漢字只讀存儲器的研制成功，李志堅的學術(shù)生涯從起始到人生的最高峰，都與國家半導體科學的發(fā)展緊密相關(guān)。李志堅的波瀾人生同時也是中國半導體科學發(fā)展歷程的映射，甚至于他相繼出生的兒女都以當時他所從事的“平面晶體管”研究而被分別取名為李平、李晶。

　　李志堅投入一生心血創(chuàng)建而成的清華大學微電子所在逐步發(fā)展中也溶入了他的血脈，從微電子所的前身——半導體教研組創(chuàng)建，到文革時期創(chuàng)建綿陽分校，再到科學的春天——微電子研究所的創(chuàng)建，在科研組織形式上從“以任務帶學科”轉(zhuǎn)變?yōu)椤耙詫W科帶任務”，他見證了清華大學半導體學科的每一步發(fā)展。李志堅作為微電子所的靈魂人物，關(guān)注的不僅是自己個人的學術(shù)成就有多輝煌，而是如何代領(lǐng)全所師生攀登科學高峰，走上國際科學前沿。

　　李志堅身上的謙遜和豁達是他一生中遇到挫折的淬煉，而他的宏大和敏銳則成就了他一生的功業(yè)。他的一生是兒子、是大哥、是丈夫、是父親，是猶如普通人的辛勤勞作、家長里短；同時又是導師、是領(lǐng)導、是所長、是院士，是普通人無法企及的運籌帷幄、絢爛榮耀。正如李志堅所說，個人的渺小和宏大，看似矛盾卻又協(xié)調(diào)，這兩者結(jié)合在一起“永遠成為奔騰向前的歷史長河中的一朵浪花”。

　　李志堅六十年的學術(shù)生涯，是他從一個立志報國的青年成長為一名杰出的微電子學專家的歷程，是中國微電子事業(yè)從無到有艱難前行的展現(xiàn)，同時也是世界半導體領(lǐng)域從興起到信息時代大發(fā)展的歷史進程。這期間有他作為個人在學術(shù)探索中的努力和奉獻，有他追求科學真理的信念和堅持，也有在那段特殊時代背景下，一代科學家面對政治經(jīng)濟環(huán)境所作出的抉擇和貢獻。

　　李志堅的一生是與半導體密不可分的一生，可以說，李志堅學術(shù)成長的過程是個人的，也是同時代整個科學家團體的，更是國家半導體事業(yè)和清華大學半導體學科創(chuàng)建和成長的縮影。（王佳楠，海南大學經(jīng)濟與管理學院副教授；王公，清華大學社會科學學院博士研究生；楊艦，清華大學科技與社會研究所副所長、教授）

同行、學生印象中的李志堅

　　王守覺（半導體電子學家，中國科學院院士）

　　我和李志堅相識早在1958年,此時他剛從蘇聯(lián)學習回國。在此后52年的教學科研生涯里,他的工作從器件物理、集成電路技術(shù)到系統(tǒng)集成技術(shù)；從半導體材料、半導體器件到微機械傳感器；從多值邏輯、模糊邏輯到人工神經(jīng)網(wǎng)絡，幾乎覆蓋了與固體電子科學技術(shù)有關(guān)的所有領(lǐng)域?？梢哉f他的一生是新中國科技工作者的the way of life，至少是典型的a way of life。他的科研工作顯示了他的力量，正如黃昆給楊振寧的信中所說的：“只要人能把雄心放在超出自己以外的Abstraction上，人格的力量立刻就增加?！彼纳呢S富不也是在跳出了個人的圈子嗎？李志堅文集的出版必將超出它科學技術(shù)上的意義，而給新一代青年學子們帶來“人格的力量”。（寫于2010年3月）

　　顧秉林（中國科學院院士，清華大學高等研究院院長，北京市科學技術(shù)協(xié)會主席）

　　我和李志堅先生相識，是在上世紀70年代中期。那時，我剛剛從清華大學固體物理研究班分配到半導體車間工作了幾年。當時李志堅先生從綿陽回到清華不久，又剛剛經(jīng)歷了兒子早逝的痛苦，但他全身心地投入了科研和教學。

　　我作為青年教師，正是在李志堅先生領(lǐng)導下工作，得到他的許多幫助和教誨。1977年，這個領(lǐng)域召開了一次國際學術(shù)會議，當時剛剛粉碎“四人幫”，改革開放還未開始，李志堅先生就鼓勵我們參加。在他的悉心指導下，我完成了一篇論文，并被國際會議所接受。這是我人生中的第一篇學術(shù)論文，所以至今記憶猶新。為了開展一些基礎(chǔ)研究，我提出要花兩萬美元購置一臺實驗設備，那時候兩萬美元還是一個不小的數(shù)目。但李志堅先生聽了匯報后，覺得有意義，就同意了我們的申請。1978年，我再次進入了清華恢復創(chuàng)辦的固體物理研究班學習，而后又到丹麥攻讀博士學位，李志堅教授親自為我寫了推薦信。

　　回顧過去，李志堅先生對事業(yè)的忘我投入、對青年的熱情扶持，令我終生難忘。在半個多世紀的研究和教學生涯中，他培養(yǎng)了一大批活躍在國內(nèi)外學術(shù)領(lǐng)域及各個學術(shù)方面的人才，創(chuàng)造了大量高水平的研究成果，體現(xiàn)了老一輩科學家的高尚品德和嚴謹學風，值得我們永遠紀念和學習。

　　回顧李志堅院士成就卓著的一生，另一點重要感受是，他作為一名戰(zhàn)略科學家面向世界前沿、立足中國實際，在學術(shù)上高瞻遠矚。李志堅院士的人生歷程，與中國微電子學科的發(fā)展進程、與清華大學微電子學的建設成就息息相連。早在上世紀50年代后期，他就提出以硅技術(shù)作為本專業(yè)的主要研究方向；70年代末，又堅持了以CMOS集成電子學帶動整個學科發(fā)展。這些學術(shù)往事在這本書中，都有著具體翔實的描述。正像我在《李志堅文集》的序言中就曾說過的那樣，這兩次學術(shù)方向的抉擇，對清華微電子學科迄今得以持續(xù)發(fā)展并努力保持在國內(nèi)前列，具有重大意義。

　　在李志堅教授逝世三周年之際，由他培養(yǎng)的學生、校友捐資，在清華大學設立了“李志堅勵學基金”。這一基金是對李志堅先生的緬懷，也是對他為學為人理念和品格的繼承。（寫于2014年6月16日）

　　李鐵夫（李志堅的最后一個博士生，清華大學微電子所講師）

　　先生經(jīng)常教育我們要注意學習國際上的先進理論，及時更新自己的知識儲備，而他本人則始終身體力行之。

　　記得有一日，聽說先生淘汰了舊電腦，自掏腰包買了一臺全新的DELL電腦，并請錢欣老師幫忙安裝所需軟件（當時錢欣老師在我所器件室工作），我聞知此事后也一同前去幫忙。途中聽說新電腦的內(nèi)存只有512M，我倆嘀咕內(nèi)存可能太小不夠用，意欲建議先生加大內(nèi)存。到先生住處后，先生獻寶似的打開電腦讓我們操作，我們發(fā)現(xiàn)速度確實很慢。錢老師安裝好所需軟件之后讓先生試用，我倆正準備建議更新內(nèi)存的時候，發(fā)現(xiàn)先生已經(jīng)高興地用上了。只見他時而緩慢地移動鼠標，時而低頭逐個尋找鍵盤上的字母按鍵……觀察了大半天，我和錢老師得出一個結(jié)論：無須加大內(nèi)存，這臺電腦的速度跟先生正好匹配！

　　之后兩年，我在讀博士期間去日本NEC公司基礎(chǔ)實驗室訪問學習，因為通話不便，只能給先生發(fā)E-mail匯報工作。念及先生的打字速度，我以為很久才能收到回信。結(jié)果沒想到先生幾乎隔天就回了郵件，而且還每信必復，不但對我的工作提出意見和指導，還在信中對我的生活噓寒問暖。每每重讀先生那些大段的文字，再聯(lián)想到他一個按鍵一個按鍵打字的樣子，那份感動真是無以言表，至今猶感念不已。

　　李先生作為所里的元老，給人的印象一直是樸素隨和，不管什么時候遇見他，總是一身素衣簡服，一雙旅游鞋也能穿著多年。很明顯，先生對外貌的重視遠遠比不上對學問的追求。但沒想到一個偶然的機會，先生給了我一個全新的印象。

　　葛守仁教授與李先生是多年的好友。葛先生生于1928年10月，比李先生小五個月。2008年10月9日天津大學為葛先生慶祝八十壽誕（葛先生是天津大學的榮譽教授），李先生應邀參加。而當時八十高壽的先生，已經(jīng)很久不曾離京了?？紤]到他的身體狀況，所里的老師們都勸他電話祝賀。但沒想到先生很堅決：“他的生日我一定要去，這是我們早就說好了的?！?/p>

　　考慮到先生的出行安全，陳旭副校長和王志華副所長兩位領(lǐng)導親自陪同，并安排我全程跟隨照顧。那天我們一行人去接先生，一照面就讓我吃驚不已。跟隨他多年，印象中無論出席多么重大的場合，先生都是一身樸素的便服裝扮。但那天，為了給老朋友賀壽，他竟然西裝筆挺，還打了領(lǐng)帶！這是我第一次看到先生如此新鮮面貌，可以想見先生多么重視朋友間的情誼。（寫于2010年11月10日）

　?。ㄔd于《中國科學報》 2015-11-13 第3版 印刻)